擴(kuò)散泵真空機(jī)組概述：

      擴(kuò)散泵真空機(jī)組是以擴(kuò)散泵做為主泵，串以機(jī)械泵（一般常用2X型旋片式真空泵、滑閥真空泵）、和增壓泵，并配以多種閥門、儀表組成的高真空獲得應(yīng)用產(chǎn)品。可獲得真空為10-4pa，抽氣量300-40000L/S供用戶選擇。擴(kuò)散泵真空機(jī)組具有高真空、大抽速、真空穩(wěn)定等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用在電子、化工、冶金、航天、材料、生物醫(yī)藥、原子能、宇宙探測(cè)等高科技領(lǐng)域。如各種真空爐、真空冷凍干燥設(shè)備、真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗(yàn)裝置等高科技設(shè)備的高真空獲得。

      擴(kuò)散泵真空機(jī)組運(yùn)行簡(jiǎn)介：

擴(kuò)散泵單獨(dú)不能使用，一定要串聯(lián)前級(jí)泵，如有必要需在串聯(lián)1臺(tái)中間增壓泵進(jìn)行工作（以下以前級(jí)泵以2X系列旋片式真空泵為例、中間增壓泵以ZJP羅茨真空泵為例）。

擴(kuò)散泵真空機(jī)組開(kāi)啟順序：

      1、關(guān)閉擴(kuò)散泵真空機(jī)組連接系統(tǒng)的閥門C，關(guān)閉閥門A、B對(duì)2X旋片式真空泵和羅茨泵進(jìn)行正反轉(zhuǎn)試車。

      2、確定轉(zhuǎn)向后，打開(kāi)閥門C、打開(kāi)閥門B，并運(yùn)行2X旋片式真空泵。

      3、至真空抽至1000pa時(shí)，開(kāi)啟羅茨真空泵直至真空度達(dá)到10pa以內(nèi)。

      4、打開(kāi)A閥門，同時(shí)關(guān)閉B閥門（此時(shí)真空度會(huì)有一定下降）。

      5、當(dāng)真空度回升到10pa以內(nèi)后，開(kāi)啟擴(kuò)散真空泵加熱爐，直至擴(kuò)散泵機(jī)組正常工作。

      擴(kuò)散泵真空機(jī)組關(guān)閉順序：

      1、關(guān)閉閥門C，并停止擴(kuò)散泵加熱爐。

      2、運(yùn)行10分鐘左右關(guān)閉羅茨真空泵。

      3、等待擴(kuò)散泵油溫降至40攝氏度左右時(shí)，關(guān)閉閥門A，同時(shí)關(guān)閉2X旋片式真空泵。

      4、當(dāng)擴(kuò)散泵泵殼溫度降到室溫時(shí)，打開(kāi)放氣閥8。機(jī)組關(guān)閉完成。

      使用擴(kuò)散泵真空機(jī)組注意事項(xiàng)。

      1、自擴(kuò)散泵運(yùn)行到整套機(jī)組關(guān)閉，擴(kuò)散泵冷卻水不能停止。

      2、真空度高于10pa及以上時(shí)，擴(kuò)散泵不得開(kāi)啟加熱爐。

      3、擴(kuò)散泵運(yùn)行期間，如遇突然停電時(shí)，應(yīng)迅速關(guān)閉閥門A、B、C。

      擴(kuò)散泵真空機(jī)組選型參考

      1、首先確定系統(tǒng)所需真空度。

      確定好系統(tǒng)所需真空度后，方可選擇是否配備冷阱、羅茨真空泵、冷卻水溫度等。

      注：冷卻水溫度范圍為1-20攝氏度。冷卻水溫度越低，真空度越高。反之則真空度低。

2、選擇擴(kuò)散泵真空機(jī)組所配閥門。

      一般選擇閥門有手動(dòng)高真空蝶閥、氣動(dòng)高真空蝶閥、氣動(dòng)高真空球閥、高真空擋板閥。

      自動(dòng)化程度越高，所配置閥門越多，價(jià)格越高。反之手動(dòng)高真空蝶閥價(jià)格更低。不推薦使用電動(dòng)閥門。

3、了解系統(tǒng)在高真空下生產(chǎn)的產(chǎn)氣量大小。

      如若在高真空下系統(tǒng)產(chǎn)氣量微弱，可考慮增設(shè)1臺(tái)維持泵，以避免造成電能浪費(fèi)。

擴(kuò)散真空泵機(jī)組常用選型配置表

擴(kuò)散泵真空機(jī)組的優(yōu)缺點(diǎn)

擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)：

1、對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)；

2、維護(hù)簡(jiǎn)單；

3、費(fèi)用低；

4、不易出故障；

擴(kuò)散泵的缺點(diǎn)：

1、擴(kuò)散泵需要冷卻水，開(kāi)關(guān)機(jī)須等待；

2、易造成樣品室污染；

3、如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。

擴(kuò)散泵比分子泵在開(kāi)關(guān)機(jī)時(shí)間上均要長(zhǎng)上十分鐘，需要水冷系統(tǒng)，但在可獲得的真空度方面，卻要高上一個(gè)數(shù)量級(jí)。了解一個(gè)產(chǎn)品的優(yōu)缺點(diǎn)，對(duì)于更合理的使用這種產(chǎn)品有事半功倍的效果，擴(kuò)散泵有著它的優(yōu)勢(shì)，但是同時(shí)它也存在著缺點(diǎn)，但是如果能夠不斷的改進(jìn)它的缺點(diǎn)，優(yōu)化其優(yōu)點(diǎn)，對(duì)于產(chǎn)品的進(jìn)一步提升有不可估量的效果。這也應(yīng)該成為未來(lái)研究擴(kuò)散泵的一個(gè)方向，專業(yè)人士應(yīng)該重視這方面的研究。