專業(yè)從事真空機(jī)組行業(yè)多年
主要生產(chǎn)水環(huán)式真空泵、真空泵、真空機(jī)組、旋片真空泵等產(chǎn)品手機(jī)瀏覽
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山東澤一真空設(shè)備有限公司十年來一直致力于設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售干式真空泵,產(chǎn)品型號齊全,價格低,售后服務(wù)好。
干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的ji限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。
干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。